掃描電鏡（SEM）通常不能直接測量樣品的厚度，因?yàn)樗饕怯^察樣品表面的形貌和結(jié)構(gòu)。但在某些特定條件下，可以間接估算或輔助分析樣品厚度，具體取決于樣品類型、設(shè)備配置和使用的探測模式：

可以間接獲取厚度信息的幾種方法：

1. 斷面觀察法

適用條件：樣品需經(jīng)過斷面制備（如切割、斷裂、拋光、FIB 斷面等）；

原理：觀察樣品的橫截面圖像，從而測量其厚度；

注意事項(xiàng)：需保證斷面平整并垂直于電子束，圖像放大倍率要足夠高。

2. 斜切或傾斜觀察

方法：將樣品傾斜一定角度（如45°或70°）進(jìn)行觀察；

結(jié)果：從斜面圖像中推算出厚度，但需配合幾何換算。

3. 利用背散射電子圖像（BSE）

原理：較厚區(qū)域會產(chǎn)生更多背散射電子，圖像亮度不同；

用途：可以大致區(qū)分厚薄區(qū)域，但不用于精確測量。

4. 利用X射線探測器（EDS/EDX）

配合能譜分析：分析元素強(qiáng)度隨厚度變化，推測層厚；

局限性：只適用于某些薄膜或多層結(jié)構(gòu)，精度有限。