電子槍電流過(guò)大時(shí)要既立刻處理，又查找根本原因。下面按“立即可做的應(yīng)急措施”“可調(diào)整的成像參數(shù)”“可能的原因與長(zhǎng)期處理”“安全與維修建議”四部分說(shuō)明，便于快速排查與恢復(fù)正常成像。

立即應(yīng)急措施

立即減小探測(cè)強(qiáng)度或用軟鍵將束流降到更低檔位，必要時(shí)開(kāi)啟束流遮擋（beam blanking）以停止束照。

降低或關(guān)閉加速電壓（accelerating voltage）以減少樣品吸收能量，降低熱效應(yīng)與電荷累積風(fēng)險(xiǎn)。

若機(jī)器提示限流或報(bào)警，按設(shè)備步驟安全復(fù)位并記錄報(bào)警代碼；不要盲目反復(fù)切換開(kāi)關(guān)。

可調(diào)整的成像參數(shù)（恢復(fù)與優(yōu)化）

減小發(fā)射電流或燈絲電流，對(duì)于熱陰極槍這是直接手段；對(duì)于場(chǎng)發(fā)射槍?zhuān)档吞崛‰妷夯蚴髟O(shè)定。

減小光斑或選擇更小的孔徑，這能有效降低樣點(diǎn)處的電子流密度。

提高工作距離在某些系統(tǒng)可以降低樣品局部能量密度并改善穩(wěn)定性。

使用慢掃描或多幀平均而不是提高電流來(lái)改善信噪比。

在可能時(shí)切換到次級(jí)探測(cè)器或低真空模式（若設(shè)備支持）以減輕充電和局部加熱問(wèn)題。

可能的原因與對(duì)應(yīng)處理

燈絲老化或設(shè)置過(guò)高：檢查燈絲壽命與電流設(shè)置，必要時(shí)更換燈絲或按手冊(cè)調(diào)整發(fā)射設(shè)定。

真空變差：腔室或槍室真空惡化會(huì)導(dǎo)致串弧或抽放不穩(wěn)，檢查真空泵、閥門(mén)與密封，必要時(shí)做泄漏檢測(cè)并維修。

槍口或抽氣部位污染：污染會(huì)導(dǎo)致發(fā)射不穩(wěn)或需要更大電流維持束流，考慮做槍室清潔或讓維護(hù)人員做擊穿/去污處理。

驅(qū)動(dòng)或供電模塊故障：高壓電源或電流源異常會(huì)造成異常電流，應(yīng)由工程師檢測(cè)電源單元。

樣品引起的異常吸收或放電：樣品表面污染、導(dǎo)電性差或含揮發(fā)物時(shí)，需要清潔、鍍膜或降低束流。