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掃描電鏡圖像發(fā)亮怎么回事

日期:2025-12-24

掃描電鏡圖像整體發(fā)亮,通常不是樣品本身的問(wèn)題,而是成像參數(shù)或樣品狀態(tài)不匹配導(dǎo)致信號(hào)過(guò)強(qiáng)。

常見(jiàn)的原因是電子束條件過(guò)高。加速電壓過(guò)大或束流設(shè)定偏高,會(huì)產(chǎn)生過(guò)多二次電子,探測(cè)器接收到的信號(hào)超出正常范圍,畫(huà)面就會(huì)顯得一片發(fā)白。這種情況在低原子序數(shù)或表面起伏較大的樣品上尤為明顯。

第二個(gè)常見(jiàn)原因是對(duì)比度或亮度設(shè)置過(guò)高。SEM 中亮度和對(duì)比度如果調(diào)得不合理,會(huì)把灰階壓到高端,即使原始信號(hào)正常,圖像也會(huì)顯得過(guò)亮、細(xì)節(jié)丟失。

第三是樣品充電效應(yīng)。非導(dǎo)電或?qū)щ姴涣嫉臉悠吩趻呙柽^(guò)程中積累電荷,會(huì)造成局部信號(hào)異常增強(qiáng),表現(xiàn)為發(fā)亮、發(fā)白,甚至伴隨閃爍和拖影。

另外,工作距離過(guò)短或探測(cè)器位置不合適,也可能使二次電子收集效率過(guò)高,從而抬高整體亮度。


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作者:澤攸科技