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掃描電鏡的Z方向調(diào)節(jié)對焦有何技巧？

掃描電鏡（SEM）中，Z方向調(diào)節(jié)即樣品臺(tái)的上下移動(dòng)，直接影響樣品表面與電子槍之間的工作距離（WD, working distance），對焦的準(zhǔn)確性和成像質(zhì)量高度依賴這個(gè)參數(shù)。

掃描電鏡（SEM）工作時(shí)對真空度要求較高，若真空度不夠（即腔室壓力偏高），會(huì)對成像質(zhì)量和設(shè)備運(yùn)行產(chǎn)生一系列不良影響。

樣品表面污染會(huì)顯著影響掃描電鏡（SEM）成像質(zhì)量，具體表現(xiàn)和影響如下：

使用掃描電鏡（SEM）觀察樣品在某些情況下確實(shí)可能造成樣品損傷。這種損傷取決于樣品的材質(zhì)、電導(dǎo)率、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性、電子束參數(shù)等。

掃描電鏡（SEM）成像過程中出現(xiàn)的偽影（artifact）是影響圖像質(zhì)量和判讀準(zhǔn)確性的重要問題。

在掃描電子顯微鏡（SEM）中，掃描速度指的是電子束在樣品表面每個(gè)像素上停留的時(shí)間，通常通過設(shè)置“幀時(shí)間”或“像素駐留時(shí)間”來調(diào)節(jié)。

掃描電鏡（SEM）中的“電荷積聚”（Charging）現(xiàn)象是指非導(dǎo)電樣品在電子束照射下無法及時(shí)釋放電荷，導(dǎo)致電子在樣品表面積累。

要保存高質(zhì)量的掃描電鏡（SEM）圖片，需要從拍攝參數(shù)、文件格式、后期處理和存儲(chǔ)管理等方面進(jìn)行系統(tǒng)優(yōu)化。