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掃描電鏡樣品固定不牢導(dǎo)致的成像問(wèn)題

日期:2025-12-11

掃描電鏡中,樣品固定不牢會(huì)直接影響成像穩(wěn)定性與圖像質(zhì)量,是常見但容易忽視的問(wèn)題。

1. 圖像漂移明顯

樣品輕微移動(dòng)就會(huì)導(dǎo)致掃描過(guò)程中位置不斷變化,圖像出現(xiàn)整體漂移或無(wú)法穩(wěn)定對(duì)焦。

2. 細(xì)節(jié)模糊或重復(fù)影像

掃描速度稍慢時(shí),樣品抖動(dòng)會(huì)造成細(xì)節(jié)被拉伸、疊影或呈線狀模糊,尤其在高放大倍率下最明顯。

3. 充電現(xiàn)象更易出現(xiàn)

接觸不牢的樣品與樣品臺(tái)接地不良,導(dǎo)致局部電荷累積,圖像出現(xiàn)亮斑、黑塊或閃爍。

4. 易產(chǎn)生機(jī)械振動(dòng)噪聲

樣品若松動(dòng),會(huì)隨腔室內(nèi)微振或冷卻水流動(dòng)產(chǎn)生隨機(jī)抖動(dòng),使圖像紋理出現(xiàn)細(xì)碎噪聲。

5. 傾斜、斷續(xù)的掃描線條

松動(dòng)導(dǎo)致樣品位置相對(duì)電子束微移,掃描線會(huì)出現(xiàn)突然偏移或呈鋸齒狀。

6. 放大倍率受限

高倍模式對(duì)穩(wěn)定性敏感,樣品只要略微傾斜或未貼緊,就會(huì)嚴(yán)重降低可用放大倍數(shù)。

7. 數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性差

樣品測(cè)點(diǎn)在重復(fù)掃描、EDS 分析、EBSD 測(cè)量時(shí)可能位移,導(dǎo)致數(shù)據(jù)不一致,影響可比性。


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作者:澤攸科技