在掃描電鏡中，樣品高度（Z 方向位置）會直接影響成像清晰度、分辨率以及測量準確性，是容易被忽視但非常關(guān)鍵的參數(shù)。

影響焦點與清晰度

樣品高度變化會改變工作距離，偏離高度時圖像容易失焦、邊緣變虛。

高度不一致的樣品在同一視場內(nèi)會出現(xiàn)局部清晰、局部模糊。

影響分辨率與信號強度

接近適合的工作距離時，電子束斑最小，分辨率最高。

樣品過高或過低都會導(dǎo)致束斑增大，細節(jié)對比下降。

改變放大倍率與尺寸測量

樣品高度變化會引入倍率誤差，影響尺寸測量的準確性。

精密測量前應(yīng)將樣品調(diào)到廠家標定的參考高度。

影響探測器接收效率

高度變化會改變樣品與探測器的幾何關(guān)系，導(dǎo)致亮度和對比度變化。

二次電子像對高度變化尤為敏感。