掃描電鏡圖像出現(xiàn)亮度忽明忽暗，多數(shù)與電子槍發(fā)射電流不穩(wěn)定有關(guān)。無論是鎢燈絲、LaB?，還是場(chǎng)發(fā)射源，都可以按以下順序排查。

一、先確認(rèn)是否為電子槍問題

如果圖像的亮度整體閃爍，而掃描線和放大倍率均正常，基本可判斷為電子槍不穩(wěn)，而不是樣品充電或掃描系統(tǒng)問題。

二、檢查電子槍類型對(duì)應(yīng)的典型故障

鎢燈絲

燈絲老化或接近壽命時(shí)容易閃爍。若亮度難以穩(wěn)定、Emission Current 波動(dòng)大，建議直接更換燈絲。若燈絲電流設(shè)定過高，也會(huì)導(dǎo)致不穩(wěn)，可適當(dāng)降低至推薦區(qū)間并等待數(shù)分鐘使電子槍重新穩(wěn)定。此外，若真空略有惡化，也會(huì)使燈絲發(fā)射不穩(wěn)，需要檢查泵維護(hù)和真空度。

LaB?

LaB? 對(duì)污染較敏感。若出現(xiàn)閃爍，可先提升加熱溫度進(jìn)行自清潔。若清潔后仍不穩(wěn)，則可能是晶體表面污染嚴(yán)重，需要更換 LaB? 源。同時(shí)檢查槍室真空是否達(dá)標(biāo)。

場(chǎng)發(fā)射源（FEG）

FEG 對(duì)真空要求高。若 gun chamber 真空波動(dòng)，亮度會(huì)立即閃爍，應(yīng)先查看離子泵是否正常、N? trap 是否工作、系統(tǒng)是否剛開艙。必要時(shí)運(yùn)行電子槍“再生/穩(wěn)定”程序。如果 emission current 持續(xù)漂移，則可能需要工程師處理或更換 emitter。

三、檢查電源與接地狀況

電源波動(dòng)會(huì)直接造成 HV 不穩(wěn)，從而引起亮度閃爍。可更換到穩(wěn)壓電源或獨(dú)立供電線路測(cè)試。同時(shí)檢查接地是否良好，接地不良會(huì)放大高壓噪聲。

四、系統(tǒng)性問題

若所有上述情況均排除，則可能是 HV 模塊老化、槍室溫度波動(dòng)、電子槍電源噪聲等，需要工程師進(jìn)一步檢查。