在掃描電鏡觀察過程中，非導(dǎo)電樣品或?qū)щ娦圆畹膮^(qū)域容易出現(xiàn)充電現(xiàn)象，導(dǎo)致圖像失真?？焖僮R別充電有助于及時調(diào)整參數(shù)，避免錯誤判斷樣貌。

掃描電鏡充電現(xiàn)象的快速識別方法

圖像亮度突然不均或局部發(fā)白

畫面出現(xiàn)“局部過亮、發(fā)白、過曝”的區(qū)域，通常表示電子堆積導(dǎo)致信號飽和。

圖像邊緣漂移或整體飄動

圖像出現(xiàn)緩慢滑動、漂移、扭曲變化，是典型的正負電荷積累造成的偏轉(zhuǎn)效應(yīng)。

細節(jié)突然模糊，分辨率下降

微結(jié)構(gòu)本來清晰，但隨著掃描時間延長逐漸模糊，說明電荷在不斷累積。

出現(xiàn)不規(guī)則亮點或閃爍

畫面中出現(xiàn)瞬間亮點、跳動點或閃爍，是電子束被偏轉(zhuǎn)的常見表現(xiàn)。

同一位置不同倍率下形貌不一致

低倍正常、高倍失真或漂移，說明高倍下充電更明顯，是快速判斷的有效方式。

調(diào)低電壓后圖像明顯改善

加速電壓從 15 kV 降到 5 kV 或 1–2 kV 后圖像變穩(wěn)，基本可確認是充電問題。